无图形晶圆缺陷检测设备是半导体制造过程中不可或缺的重要工具，其工作原理基于光学原理，通过激光光束照射、光信号采集、信号处理与分析以及缺陷识别与定位等步骤，实现对晶圆表面缺陷的高效、准确检测。其中精密运动台在系统中不可或缺，检测效率越高对运动台的性能要求越高，我们有成熟的应用案例。
三轴精密运动台特点
检测不良图片
